어플라이드머티어리얼즈는 모바일 기기, TV에 사용되는 얇고 가벼운 고해상도의 플렉서블 OLED 디스플레이의 대량생산에 필요한 박막봉지(TFE: thin-film encapsulation) 플라즈마화학기상증착장비(PECVD: plasma enhanced chemical vapor deposition)인 ‘AKT-20K’와 ‘AKT-40K’를 출시했다고 밝혔다. AKT-20K와 AKT-40K는 민감한 OLED 디바이스를 보호하는데 매우 중요한 박막봉지 배리어 층(thin-film encapsulation barrier layers) 증착에 사용되며, OLED 디바이스의 봉지 재료인 프론트 글래스(front glass)를 대체, 벤더블(bendable)과 커브드(curved) 디스플레이를 생산할 수 있게 한다.
AKT TFE의 핵심은 수분과 산소의 매우 낮은 침투율을 보장하고 ‘디퓨전 배리어 필름(diffusion barrier films)’을 제공함으로써 플렉서블 OLED의 수명을 연장시킨다는 점에 있다. 100°C 이하의 저온에서 증착된 고성능의 필름은 OLED 재료가 산소 및 수분 등의 환경요소에 노출되었을 때 손상되는 민감한 특성을 해결할 수 있으며, ‘비전 정렬 기술 (vision alignment technology)’을 통해 광학인쇄(photolithography), 식각 공정단계를 제거함으로써 제조비용을 절감할 수 있다.
브라이언 시에(Brian Shieh) 어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 사업부문 부사장은 “크기, 해상도, 화질과 외관 디자인(foam factor)의 발전은 디스플레이 제조업체들이 새로운 플렉서블 제품을 생산하고 시장에 선보일 수 있는 좋은 기회를 제공한다”며, “AKT-20K TFE는 이미 OLED 디스플레이의 생산에 사용돼 스크린의 모양을 변형시킬 수 있는 플렉서블 및 커브드 모바일 애플리케이션의 도입을 가속화 시키고 있다”고 말했다.
