ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics)가 혁신적인 압전 MEMS 기술(piezoelectric MEMS technology)을 상용화한다고 발표했다. ST의 TFP(Thin-Film Piezoelectric) MEMS 기술은 기본 공정 플랫폼으로 손쉽게 고객 맞춤화가 가능하기 때문에 전세계 고객사와 협업해 특정 애플리케이션에 최적화된 전용 MEMS 제품 개발을 할 수 있다.
ST의 TFP 공정을 이용하는 첫 번째 고객 중 하나는 포라이트(poLight)다. 포라이트는 TLens(Tuneable Lens)는 압전 액츄에이터를 사용해 투명 폴리머 필름의 형태를 바꿈으로서 사람 눈의 초점 기능을 모방한 카메라 오토포커스(AF) 애플리케이션을 선보이고 있다.
안톤 호프마이스터(Anton Hofmeister) ST 사업 본부장이자 그룹 부사장은 “수십억 개의 모션 센서를 생산해온 아그레떼(Agrate) 8인치 팹에서 압전 액츄에이터와 센서를 제조할 수 있게 됐다”며 “ST의 TFP MEMS 기술은 시장의 판도를 바꾸고 새로운 비용/수익 시나리오를 창출해 결과적으로 수많은 새로운 애플리케이션을 가능하게 할 것”이라고 말했다.
ST의 새로운 TFP MEMS 플랫폼을 위한 시험생산 라인은 유럽의 LAB4MEMS 프로그램에서 일부 자금을 지원했다. 이 기술은 상업, 산업 및 3D 인쇄 분야의 잉크젯 프린트헤드와 같은 잠재 애플리케이션 액츄에이터에 중요하고 에너지 하베스팅과 같은 분야의 압전 센서 개발에도 이용될 수 있다. ST는 자사의 초기 고객을 위한 양산 시기를 2015년 중반으로 예상하고 있다.
