어플라이드머티어리얼즈는 일본의 낸드 플래시 메모리 및 스토리지(Storage) 제품 생산 업체인 도시바에 리소그래피(Lithography) 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 자사의 예측 기반 스케줄 솔루션 소프트웨어 ‘스마트스케줄(SmartSched)’을 공급한다고 밝혔다.
회로 패턴을 웨이퍼에 인쇄하는 리소그래피 공정은 팹(Fab, 반도체 공장) 중 가장 복잡하고 비용이 많이 들며 웨이퍼가 밀집되는 병목현상이 빈번하게 발생하는 부분이다. 또한 장치의 복잡성이 심화됨에 따라 가동 비용 역시 지속적으로 증가할 것으로 예상되고 있어 효율성 측면에서의 해결책이 필요한 상황이다.
어플라이드머티어리얼즈의 스마트스케줄은 리소그래피 공정에서 웨이퍼의 움직임을 최적화하는 예측 기반 스케줄 솔루션으로, 어플라이드머티어리얼즈만의 독자적인 예측 알고리즘을 기반으로 장비가 가동되지 않는 시간(Idle Time)을 감소시키고 리소그래피 공정의 효율성을 극대화한다. 이는 새로운 장비의 구입을 지연시킴으로써, 결과적으로 수익성 향상을 지원한다.
스마트스케줄은는 어플라이드머티어리얼즈의 한국지사인 어플라이드머티어리얼즈코리아의 자동화 소프트웨어 사업부(APG)가 중심이 되어 전 세계 개발자들의 협업으로 완성됐다. 생산성 향상 소프트웨어 플랫폼(Advanced Productivity Software Platform)을 바탕으로 제작된 SmartSched®는 세계적으로 사용되고 있는 계획(Planning), 스케줄링(Scheduling), 디스패칭(Dispatching), 시뮬레이션(Simulation) 기술을 포함하고 있다.
이번에 어플라이드머티어리얼즈가 공급하는 스마트스케줄은 일본 혼슈(本州) 미에현(三重縣) 요카이치(四日)에 소재한 도시바의 반도체 제조 시설 팹4(Fab4)에 적용될 예정이다. 팹4는 낸드 플래시 메모리 반도체용 300mm 웨이퍼 생산 라인이다.
