종합 반도체 전문기업 바른전자는 가속도 센서의 감지 성능을 극대화하고 비용절감 효과를 얻을 수 있는 ‘3축 가속도 센서’ 특허를 취득했다고 밝혔다.
이번 특허는 MEMS(Micro Electro Mechanical System, 초소형 전기 기계 시스템) 3축 가속도센서의 감지 구조물 배치에 관한 기술이다. 그 동안 가속도 센서의 반응성능을 향상시키기 위해서는 감지 구조물의 회전반경을 늘리거나 감지영역을 확장해야 하는데 이때 구조물 크기 확대로 MEMS 크기가 커지는 단점이 있었다.
바른전자가 이번에 취득한 3축 가속도 센서 특허기술은 이런 단점을 해결해 3개 축의 가속도 감지구조물의 최적화된 배치를 통해 회전반경확보, 감지영역확대 등으로 발생하는 구조물 크기 증가 없이 높은 반응성능을 얻을 수 있게 됐고, MEMS 크기를 더욱 소형화할 수 있는 기술근거를 마련하게 됐다.
가속도 센서란 물체의 가속도, 진동, 충격 등을 측정하는 장치로 기기를 흔들거나 움직여 작동되는 기능, 속도의 측정과 위치기반서비스를 이용한 기능 등 다양한 응용 기능을 가능하게 해 준다. 최근 스마트폰, 태블릿PC, 내비게이션 휴대용 디바이스 등 다양한 제품에 광범위하게 적용되며, 센서기술을 응용한 다양한 애플리케이션을 등장시키는 최신기기들의 필수기술이다.
바른전자 기술개발 관계자는 “이번 특허는 다양한 기기에 적용되는 MEMS 가속도센서 개발 및 안정적 양산 시스템 구축에 큰 도움이 될 것”이라며 “바른전자는 가속도 센서뿐 아니라 스마트폰에 적용되는 MEMS 자이로스코프 센서 등 40여 건 이상의 특허(실시권 포함)를 가지고 있는 만큼 특허를 통한 기술적 우위를 매출로 연결시키도록 노력하겠다”고 밝혔다.
한편 초소형 전기 기계 시스템(MEMS)은 전자, 기계, 광, 재료 등 다양한 기술을 융합해 수 마이크로미터(㎛)에서 수 mm 크기의 마이크로 머신 제작 기술로 생명공학, 미세 유체 및 화학분석, 운송 및 항공, 광학, 로봇 등과 같은 산업 분야에서 부품 및 시스템 제조를 위한 핵심 기술로 활용되고 있다.
