초소형 전자 산업용 특수화학물질 및 첨단 소재 처리 솔루션 선도기업 인테그리스(한국대표 홍완철)는 반도체 및 LED 응용 분야의 웨이퍼 수율을 개선해 주는 새로운 첨단 가스 정제용 플랫폼을 도입했다고 밝혔다.
신규 케이트키퍼 GPS(GateKeeper Gas Purification Systems) 제품군은 새로운 정제 미디어를 사용해 보다 광범위한 유량에서 등급 최고의 가스 정제도를 제공하고 필요한 장비 공간은 줄였다. 인테그리스는 현재 한국에서 제조 능력이 확대돼 북미와 아시아 지역에서 게이트키퍼 GPS 시스템을 생산한다.
인테그리스의 초미세 오염 관리 사업 부문 수석 부사장 클린트 해리스(Clint Harris)는 “고객은 복잡해지는 최첨단 기기들을 효율적으로 제조하기 위해 전례 없는 오염 관리 문제에 직면하고 있다”며 “새로운 게이트키퍼 GPS는 이러한 환경에서 수율을 극대화하는 데 필요한 첨단 솔루션을 제공한다. 이러한 새로운 기술의 도입에 발맞춰 북미와 아시아에 설비 투자를 지속해 글로벌 서비스와 제조 수용력을 확대할 것”이라고 말했다.
첨단 노드용 반도체 공정 및 LED 제조 요구사항은 공정 가스에서 발견되는 결함 유발 오염 물질을 제거할 수 있도록 더욱 높은 순도를 요구한다. 게이트키퍼 GPS는 가스 기류 내의 여러 오염 물질을 1조분의 1분율 단위 수준으로 제거하며, 다양한 범위의 유량으로 구성할 수 있다.
정화되는 가스는 CDA, N2, H2, EUV용 H2, Ar, NH3 등이다. 고객들은 설치 공간이 작은 제품을 찾고 있다. 컴팩트해진 이 시스템 덕분에 고객은 줄어든 공간을 다른 필요한 도구에 할애하거나 추가 시스템으로 정제 유량을 늘릴 수 있다.
한편 최신 케이트키퍼 시스템은 8일부터 10일까지 열리는 세미콘 코리아 전시회에서 볼 수 있다.
